电子行业废气处理有多种方法,以下是一些常见的处理技术:
活性炭吸附:活性炭孔隙发达、比表面积大,能吸附有机废气。废气穿经活性炭吸附装置时,有机物附着于其表面。装置可单级或多级串联,定期再生或更换活性炭。它适用于低浓度、大风量有机废气处理,成本适中,操作简便,不少小型电子厂青睐此方法。
沸石转轮吸附:适用于大风量、低浓度废气。沸石转轮含吸附区、脱附区,吸附区锁定VOCs,转轮转动至脱附区,高温气体脱附有机物,浓缩后高浓度废气再进燃烧设备等做后续处理,常用于大规模电子生产基地。
催化燃烧:凭借贵金属(铂、钯等)或非贵金属催化剂,让废气有机物在200 - 400℃低温下氧化分解。废气先经预热器升温,进入催化反应器反应,热交换器回收热量预热进气,节能高效,适合处理中高浓度VOCs废气,电子芯片制造企业应用较多。
直接燃烧:把废气在700 - 800℃高温下直接焚毁,有机物化为二氧化碳和水。需配备优良燃烧器与充足空气供给系统,处理效果佳,但能耗高、成本大,多用于高浓度、小风量废气处理,像专业电子废弃物处理厂的特定环节。
利用高压放电生成等离子体,当中高能电子、离子、自由基与废气污染物反应,致其裂解、氧化成小分子物质。设备占地小、处理效率较高,可作为预处理或与吸附法联用,辅助处理大风量、低浓度废气,契合对场地有要求的电子企业。
借光催化剂(二氧化钛)在紫外线照射下产羟基自由基等强氧化性物质,分解VOCs。设备简易、运行成本低,多作辅助手段与活性炭吸附、等离子体净化等搭配,完善废气处理成效,适用于废气成分繁杂、环保标准高的电子企业。
针对酸性、碱性废气,用水或化学溶液吸收。如用氢氧化钠溶液吸收氯化氢气体,设备有填料塔、喷淋塔,操作简单,投资少,常用于处理电子元器件蚀刻产生的酸性废气。
通过降低废气温度使部分有害物质冷凝成液体或固体,从而将其从废气中分离出来。适用于处理高浓度、风速小的有机废气,常与吸附法结合使用,回收有价值的有机化合物。
利用微生物的代谢作用将废气中的有害物质转化为无害物质。生物法具有处理效果好、成本低、二次污染小等优点,适用于处理某些可生物降解的废气。但生物法需要一定的反应时间和适宜的反应条件,因此在实际应用中需要综合考虑。
利用特殊膜材料的选择性透过性,将有机废气中的有害物质分离出来。
这些方法各有优缺点,选择合适的废气处理方法需要根据废气的成分、浓度、风量以及企业的具体需求来综合考虑。
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